在美国对中(共)国高端芯片技术封锁加剧之际,深圳新凯来产业机械(SiCarrier Industry Machines)声称突破瓶颈,其新研发的半导体设备有望助中(共)国实现5奈米制程。然而中媒却唱衰,专利不等于量产,技术成熟度仍待验证。
在《SEMICON China2025》展会上,这家国企背景的新凯来备受瞩目,展示31套以山命名的设备,宣称覆盖7奈米至5奈米光刻技术。董事长戴军表示,受限于美国禁令,中国无法获取极紫外光(EUV)设备,但新凯来利用多重图案化(Multi-patterning)技术,结合深紫外光(DUV)与“自对准四重图案化”(Self-aligned Quadruple Patterning, SAQP)工艺,可逼近5奈米指标,成本更低。该技术已于2023年底获中国知识产权局专利认证。
分析师认为,新凯来设备或为中(共)国5奈米制程提供替代路径。内部人士透露,其设备已获中芯国际(SMIC)与华为采用。然而,戴军坦言,多重图案化增加约20%制程步骤,良率面临挑战。中媒则指出,展会仅见技术说明与模型,未见实机,质疑其可信度,称“专利到量产还有十万八千里”。
市场传出,来自深圳新凯来将突破美国的技术封锁,其本土芯片制造设备可望助中国突破5奈米技术瓶颈。(示意图,路透)
公开资料显示,新凯来成立于2022年,母公司新凯来科技由深圳政府基金于2021年全资设立。2024年12月,其被美国商务部列入140家中国芯片企业黑名单。突破若属实,将是中国半导体“国产替代”的关键一步,但前景仍存争议。